上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台成立于2014年，隶属于上海市研发公共服务平台集成电路组，是现今国内集成电路领域唯一的非硅平台，平台面向国家重特大技术攻关、科研机构技术研发和中小企业技术开发需求，提供一些列非硅工艺的研发代工和技术支撑服务。

平台以数十项独具特色的微纳加工工艺为基础，开展高性能微纳器件与微机电系统的创新开发服务。主要面向消费电子、电力电子、医疗器械、人工智能等高新技术产品领域，并针对植入式和极端工况等特殊要求，发展了一系列微纳集成异质异构工艺，经高度凝练形成了多元兼容集成制造技术的基础架构，为满足各式各样智能感智器件微型化设计和集成化制造奠定了基础。

平台先后承担并完成了一系列国家级重要科研任务，取得了多项高水平研究成果，包括超高热流密度芯片散热技术、惯性开关、脑机接口、植入式器件、极端环境传感器等。先后获得上海市技术发明一等奖、第20届工博会特等奖、高交会优秀产品奖，推动创新链与产业链无缝对接，为促进社会创新协同和资源高效配置发挥了积极地作用。

平台形成了一支多学科交叉的技术开发和运营团队，拥有授权发明专利一百多项，构成了平台支撑技术和服务能力不断进步的重要基础。