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项目展示

	碳纳米管基传感器跨尺度集成制造技术	2020-06-03
	全局铜互连镂空结构设计及制造（上海市纳米专项）、高深...	2020-06-01
	高K介质纳米薄膜的可控性生长及其在可调器件中的应用（...	2020-06-01
	磁致锁定电热微驱动器及继电器/复杂三维可动微结构的微...	2020-06-01
	跨尺度集成制造的碳纳米管增强型敏感电极研究	2020-06-01
	可变电容	2020-06-01
	场发射阴极制备	2020-06-01
	MEMS电磁继电器	2020-06-01
	双稳态MEMS继电器	2020-06-01
	金属基碳纳米管复合材料	2020-06-01
	非硅基MEMS惯性传感冲击开关	2020-06-01
	面向非硅微结构的微拉伸测试系统	2020-06-01
	新型低成本高效率纳米晶太阳能电池的研制	2020-06-01
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