设备说明
♦ 设备名称:俄歇电子能谱仪
♦ 制造厂:美国P-E公司
♦ 型号规格:PE-610
♦ 主要技术指标:
真空度:5*10-10 Torr ;
电子束径:1000Ho;
加速电压:10kv ;
束流:> 2μA;
♦ 应用范围:材料表面分析(线行),薄膜材料深度线行分析,俄歇电子成分面扫描。
♦ 设备图片: