设备说明

♦ 设备名称：热压系统(Hot Embossing System)

♦ 制造厂：德国JENOPTIK公司

♦ 型号规格：HEX01/C 

♦ 主要技术指标：

最大压力 20KN，

最高热压温度 210℃，

可进行塑料三维微结构的复制，其特色是在模压过程中可抽真空

♦ 应用范围：掩膜版曝光；可实现接触式和间隙曝光；可进行间歇曝光。

♦ 设备图片：