设备说明
♦ 设备名称：光刻机
♦ 制造厂：德国Karl Suss
♦ 型号规格： MA6/BA6
♦ 主要技术指标：
双面曝光；
线宽1μm；
对准精度1μm；
4″掩膜版。
♦ 应用范围：掩膜版曝光；可实现接触式和间隙曝光；可进行间歇曝光。
♦ 设备图片：
