PDMS浇铸工艺规范

1、工艺目的

本工艺是将聚合物PDMS硅橡胶浇铸在模具内，模具包括：硅模具、金属模具、陶瓷模具等。PDMS可以高精度复制模具的微结构。

2、工艺步骤

2.1浇铸准备：

• 2.1.1 模具进行清洗，并在100℃烘2个小时以上以去除表面水分子。
• 2.1.2 按照模具空腔的大小计算PDMS的用量。
• 2.1.3 将PDMS预聚体与固化剂按10:1比例混合，用玻璃棒搅拌均匀。
• 2.1.4 将PDMS预聚体与固化剂混合物放置真空环境下脱气20分钟。

2.2  浇铸成形

•         2.2.1为提高脱膜效果，可以采用脱膜剂。
•         2.2.2将混合好的PDMS浇铸在模具内。
•         2.2.3将浇铸PDMS的模具放入真空室，抽真空去除气泡，使得PDMS紧密填充在模具内。
•         2.2.4  加温固化PDMS，采用烘箱温度55℃烘 6个小时，后降至室温。
•         2.2.5  将PDMS样品从模具中剥离。

2.3测量：

•         2.3.1将浇铸的PDMS样品置于显微镜下进行测量，主要测量其关键尺寸的变化量。
•         2.3.2 采用测量显微镜多点测量PDMS样品尺寸。

3、设定工艺参数

3.1温度：固化温度55℃；

3.2真空：0.1mbar

3.3尺寸: 根据客户要求确定，3-4寸PDMS模具

4、工艺检验要求

4.1镜检：在显微镜下观察，浇铸的PDMS无损伤，无气孔

4.2测量：用测量显微镜观察测量模具的关键尺寸。