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当前位置 >> 技术支持 >> 研究成果
研究成果
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作者:
李艳春,汪 红,张丛春,姚锦元,丁桂甫,赵小林
♦
期刊:
功能材料
♦
关键字:
镍微结构,粗糙度,热处理,结合强度;
♦
摘要:
在玻璃基底上溅射
Ti
或
Cr/Cu
种子层并对
Ti
基板表面进行预处理,研究基底表面粗糙度、热处理温度对于镍微结构层结合强度 的影响。结果表明,基底表面粗糙度、热处理温度对镍微结构镀层与基底的结合强度有较大影响,经过
200
℃的热处理,溅射
Ti
及
Cr/Cu
种子层与镍微结构的结合强度提高近一倍。通过
EC-SPM
、
SEM
等分析手段,初步探讨了结合强度的影响机制。
版权所有:2020年 上海市非硅微纳集成制造专业技术服务平台 技术支持:
上海屹超