2023年5月31日上午10点,微纳电子学系校企共建本科课程“微纳电子科技前沿讲座”第七讲“无处不在的半导体:Layout篇”在东中院1-108教室顺利展开,由孙亚男老师和杨志老师共同主持。本学期校企共建系列讲座由上海为旌科技有限公司赞助支持。该公司作为国内顶尖的集成电路设计企业,致力于为客户提供有竞争力的智能感知芯片及解决方案。
本次课程邀请到了格芯公司GLOBALFOUNDRIES的马莉、蔡建东、于杰专家作为主讲人,为同学们带来无处不在的半导体:Layout篇的讲解。
首先,杨志老师对马莉、蔡建东、于杰三位专家和讲座内容做了简要介绍。马莉是GLOBALFOUNDRIES高级经理,项目经理,CEO奖得主,本科毕业于电子科技大学,硕士毕业于复旦大学。蔡建东是GLOBALFOUNDRIES SMTS工程师,本科毕业于上海交通大学。于杰是GLOBALFOUNDRIES的MTS工程师,本科毕业于华东师范大学。
图一 杨志老师介绍授课专家及讲座内容
首先由马莉为同学们带来第一部分《GF&Layout Overview》的讲解。格芯公司(格罗方德)GlobalFoundries Inc.创立于2009年,总部位于美国纽约州,是一家半导体晶圆代工公司,目前是仅次于台积电(TSMC)与三星电子(Samsung Electronics)的世界第三大专业晶圆代工厂。马莉从同学们熟知的摩尔定律出发,介绍了半导体行业的发展。马莉在课程中与同学们热情互动,从传统MOS管结构到FINFET结构与GAA结构,详细讨论了他们的优缺点。同时与同学们讨论了去年全球芯片荒的原因和车载芯片。
接下来由蔡建东向同学们介绍讲座第二部分《Layout&Process》。蔡建东首先向同学们介绍了工艺制成的演进,随着工艺尺寸的减小,栅极介质厚度不断减薄,电子直接隧穿引起的栅极漏电流随之增大。通过引入high-k技术使得晶体管的尺寸能继续按照摩尔定律继续演进。随后蔡建东介绍了EUV和DUV光刻技术及工艺加工过程。
接下来由于杰向同学们介绍讲座第三部分《Layout&Tooling》。于杰首先向大家介绍了版图的作用,他形象地将版图工作比作翻译,将网表转换为图形文件交给厂家生产。随后于杰讲述了版图设计过程中的要点,通过熟练掌握EDA工具,保证版图设计速度快,错误少。最后,于杰向同学们着重讲解了版图中DRC检查。
课程接近尾声,三位专家对讲座进行了总结和展望,并根据自身的见解对同学们提出的问题进行了热情解答。
图六 专家解答同学们问题
讲座在愉快轻松的氛围中结束了,同学们为专家的精彩讲授献上了热情的掌声。通过此次讲座,相信同学们对版图的知识有了更加深入的了解。讲座最后,孙亚男老师与杨志老师为马莉、蔡建东、于杰和格芯公司GLOBALFOUNDRIES颁发授课证书和企业荣誉证书